本発明に係るハンドリング装置は、上記のいずれかのハンドリングユニットと、該ハンドリングユニットの位置及び姿勢を定めるユニット駆動系と、前記シリンダ構造内に流体を供給する流体供給手段と、前記ユニット駆動系及び前記流体供給手段を制御する制御部と、を具備する。ここで、前記シリンダ構造内の前記作動体の軸線方向の位置を検出する作動体位置検出手段をさらに具備することが好ましい。また、本発明において、前記コレットの軸線方向の位置を検出するコレット位置検出手段をさらに具備することが好ましい。さらに、本発明において、複数の前記フィンガー部若しくは前記弾性変形部の振動、歪、変位などの個々の変位態様或いは変位態様の差若しくは比を検出する把持態様検出手段をさらに具備することが好ましい。また、本発明において、前記フィンガー部によって把持された把持対象物の物理量を検出する把持対象物検出手段をさらに具備することが好ましい。この把持対象物検出手段は、例えば、前記フィンガー部に設けられた、熱電対、導電センサ、振動センサなどの各種検出器で構成できる。
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１０…ハンドリングユニット、１０ｘ…軸線、１１…コレット、１１ａ…基準部、１１ｂ…弾性変形部、１１ｃ…フィンガー部、１１ｄ…係止段部、１１ｓ…スリット、１１ｇ…把持面、１１ｐ…規制溝、１２…ハウジング、１２ａ…本体、１２ｂ…基端部、１２ｃ…先端部、１２ｄ…支持部、１２ｅ…内側段部、１２ｋ…支持部、１２ｐ…流体供給口、１２ｑ…通気口、１２ｏ…開口部、１２ｓ…シリンダ構造、１３…作動体、１３ａ…軸孔、１３ｂ…支持面部、１３ｃ…駆動部、１３ｄ…受圧部、１３ｅ…外側段部、１３ｋ…被支持部、１３ｐ…規制溝、１３ｓ…シリンダ摺接部、１３ｔ…通気経路、１４…作動ばね、１５…保持ばね、１６…内周側規制ピン、１７…外周側規制ピン、１００…ハンドリング装置、１０１…制御部、Ｓ１…作動体位置検出器、Ｓ２…コレット位置検出器、Ｓ３～Ｓ５…把持態様検出器、Ｓ６…把持対象物検出器、Ｍ１，Ｍ２，・・・，Ｍｎ…動作部（ユニット駆動系含む）
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ハンドリングユニット１０には、制御部１０１に検出信号を出力する種々のセンサを設置することができる。例えば、前述の第４実施形態の位置検出器４９と同様に、作動体１３の軸線方向の位置を検出し、検出信号Ｓｓを出力する作動体位置検出器Ｓ１と、コレット１１の軸線方向の位置を検出し、検出信号Ｓｃを出力するコレット位置検出器Ｓ２と、コレット１１の複数の弾性変形部１１ｂ又はフィンガー部１１ｃの各々において、弾性変形量やこれに伴う歪に基づく電圧、電流などをそれぞれ検出し、検出信号Ｓｄを出力する把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５と、複数のフィンガー部１１ｃの少なくとも一つに設置され、検出信号Ｓｔを出力する熱電対などの把持対象物Ｐの温度を検出する温度検出器や、導電率を検出する抵抗センサ、把持対象物Ｐの振動を検出する振動センサなどの、把持対象物の各種の物理量を検出する把持対象物検出器Ｓ６とを設けることができる。ここで、上記把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５は、各弾性変形部１１ｂやフィンガー部１１ｃに対応するそれぞれの検出信号Ｓｄを出力するものであってもよく、また、検出信号Ｓｄとして、複数の弾性変形部１１ｂやフィンガー部１１ｃの間のセンサ値の差や比を出力するものであってもよい。
清·梁章钜《归田琐记·张孟词贡士》：“阮芸台师哭孟词云：‘张孟词志趣高洁，风仪峻朗，博闻元览，颖秀迈伦。’”
従来から、ハンドリング装置のロボットアームの先端等に取り付けるエンドエフェクターの一種として、対象物を把持する把持部を備えたハンドリングユニットが知られている。このハンドリングユニットでは、複数のフィンガー（爪）を相互に開閉可能に設置したものが知られている。これらの中には、複数のフィンガーをそれぞれ個別に動作可能に構成した駆動機構を備えたものの他に、複数のフィンガーをコレットに一体的に形成し、このコレットを所定の駆動機構により同時に動作させるようにした、以下の特許文献１及び２に記載のユニットが知られている。
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引清•梁章鉅 《归田琐记·张孟词贡士》：“阮芸臺 师哭 孟词 云：‘ 张孟词 志趣高洁，风仪
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この発明によれば、小型化や軽量化を図ることが容易であるとともに、把持精度や繰り返し精度を確保できるハンドリングユニットを提供することができる。また、ハンドリング装置において、コレットの把持特性に適した良好な作動状態を実現できる。
コレット１１は、軸線方向の一部を構成する基準部１１ａを有する。基準部１１ａは、図示例では、後述する作動体１３の内面に対して軸線１０ｘに沿って摺動可能に支持されることにより、軸線１０ｘに対する同軸状の位置及び姿勢が保持された状態となっている。図示例では、基準部１１ａは、軸線１０ｘに沿って同径に形成された円筒面状の外周面を備える一体の筒形状に構成される。この基準部１１ａの軸線１０ｘの方向の先端側（図示左側、以下、単に「軸線方向先端側」という。）には、複数の弾性変形部１１ｂが接続される。弾性変形部１１ｂは、上記基準部１１ａよりも弾性変形が容易な形状寸法となるように構成される。図示例では、弾性変形部１１ｂは、基準部１１ａより薄肉であり、かつ、軸線１０ｘの周りの周方向にスリット１１ｓにより分断された構造とされることで、個々に容易に弾性変形するようになっている。図示例では、軸線１０ｘの周りに３つの弾性変形部１１ｂが、軸線１０ｘの周りに３回対称性を備える態様で、等角度間隔に形成される。コレット１１の軸線１０ｘに沿った内部は軸線方向に貫通した軸孔１１ｘとなっている。
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